2012年,深秋,华夏庐州。
夜,早已深沉如墨。
合城西郊,那座占地数千亩、被高高的围墙和森严的安保与外界隔绝的“神农1号”超级晶圆厂区,此刻却依旧灯火通明,宛如一座不夜之城。
巨大的超净厂房(Fab)内,数千台精密设备发出低沉而持续的嗡鸣,交织成一曲属于现代工业文明、单调却又充满力量的交响。
无尘车间内,身着从头到脚包裹严实的白色“兔子装”、只露出一双眼睛的工程师和技术员们,正神情肃穆、步履匆匆地穿梭于一台台庞大而精密的机器之间。
他们的眼神中,大多布满了熬夜带来的血丝,脸上也难掩疲惫,但更多的,是一种近乎偏执的专注和一种被逼到绝境后的、破釜沉舟般的决绝。
这里,是启明芯“开天计划”中,难度最高、投入最大、也最具战略意义的“神农存储”项目的核心战场。
此刻,这场战争,正进行到最惨烈、也最关键的阶段——128层以上3d NANd Flash和早期dRAm存储颗粒的初期量产良率攻坚!
国际存储寡头们联手布下的那道绞杀铁幕,正以前所未有的力度,从四面八方向这座刚刚诞生的华夏存储希望之城挤压而来。
最先进的光刻机?
对不起,ASmL的最新型号,你们启明芯的订单已经排到三年之后了,而且能否最终拿到出口许可证,还要看m国和荷国政府的心情。
现在能给你们的,只有相对老旧的上两代产品,而且价格还要上浮20%。
核心的刻蚀设备?
LAm和tEL的回复如出一辙:“产能不足,优先保障战略大客户(三星、美光等),贵司的订单可能需要延期至少六个月。”
即便最终拿到,也往往是功能上有所限制的“特供版”。
高纯度的特种电子气体?pVd靶材?大尺寸硅晶圆?光刻胶?对不起,涨价!断供!或者,以各种“合规审查”、“技术标准不符”为由,无限期拖延!
人才?更是寡头们重点关照的对象!
坂本健一从东瀛带来的几位核心弟子,几乎每个人都接到了来自老东家或竞争对手的、包含巨额薪酬和“不回国就等着吃官司”威胁的劝退电话。
启明芯从全球高薪聘请的一些半导体工艺专家,也开始受到各种或明或暗的压力和诱惑。
这,是一场不宣而战的、旨在从根本上扼杀华夏自主高端存储产业的科技绞杀战!
“神农1号”的总指挥,是启明芯副总裁、深川研发中心兼庐州基地负责人孙振南。
这位早年留学德意志、拥有丰富大型项目管理经验的实干家,此刻正站在中央控制室巨大的玻璃幕墙前,眉头紧锁,眺望着下方那片灯火通明、却又危机四伏的超净厂房。
他知道,自己肩上的担子,重如泰山。
“坂本先生,”孙振南转过身,看向身边同样彻夜未眠、但眼神依旧锐利如鹰的坂本健一,声音带着一丝沙哑,
“NANd那边的最新一批测试晶圆,刚刚从蚀刻区出来,初步的电学参数扫描结果……依然不理想。
“深孔刻蚀的均匀性和垂直度控制,还是有很大的波动,导致存储单元的阈值电压离散度过大,坏块率居高不下。良率……良率还在30%以下徘徊。”
30%!这个数字,对于追求大规模量产和成本控制的存储芯片来说,简直是灾难性的!这意味着每生产三片晶圆,就有两片以上是废品!
其烧钱的速度,足以让任何一家公司都为之胆寒!
坂本健一苍老的脸上,看不出太多的情绪波动。
他只是默默地接过孙振南递过来的测试数据报告,戴上老花镜,逐行逐句地仔细审阅着。
他那双曾经见证了东瀛存储产业从辉煌到衰落的深邃眼眸中,此刻充满了对技术细节的极致专注。
“高深宽比刻蚀(hARc)的等离子体均匀性控制,以及刻蚀过程中聚合物副产物的清除,确实是目前最大的瓶颈。”
坂本健一沉吟片刻,指着报告上的几条异常曲线说道,“我们现有的这几台来自tEL的‘阉割版’刻蚀机,其等离子体源的稳定性和腔体环境的精确控制能力,相比他们供给三星的最新型号,至少差了一个代。
“想要在这样的设备上,稳定地刻蚀出128层以上、深宽比超过60:1的完美垂直通道,难度确实非常大。”
“我们已经尝试了所有能想到的工艺参数调整方案,”
一位负责NANd工艺的年轻工程师,脸上带着深深的疲惫和无奈,“调整气体配比、优化刻蚀功率和时间、改进清洗流程……但效果都非常有限。感觉就像……就像在用一把生锈的钝刀,去雕刻一件最精密的艺术品。”
悲观的情绪,如同无形的病毒,开始在团队中悄然蔓延。
就在这时,中央控制室的加密通讯终端突然响起。是来自香江总部的、林轩亲自召开的每日例行技术视频会议。
“坂本先生,孙总,各位庐州的同事们,晚上好。”
林轩的身影出现在巨大的屏幕上,他的身后,是启明芯“伏羲”AI超算集群控制室的背景,“NANd和dRAm的最新进展如何?”
孙振南简要地汇报了目前面临的困境,特别是NANd深孔刻蚀的良率瓶颈。
林轩静静地听完,脸上没有丝毫的意外。
他知道,这正是绞杀同盟最希望看到的结果——让启明芯在无休止的技术难题和巨额的资金消耗中,逐渐失去信心,最终放弃挣扎。
“坂本先生,”林轩的目光转向坂本健一,语气平静却带着强大的力量,“还记得我们当初讨论过的,利用‘伏羲’AI平台,对半导体制造工艺进行数字孪生和智能优化的设想吗?”
坂本健一眼神一亮:“林先生,您的意思是……”
“没错!”林轩点头,“既然我们的硬件设备暂时不如人,那我们就要用更聪明的大脑去弥补!
“我已经让李志远的EdA团队和‘伏羲’AI团队,将你们庐州产线所有关键设备的实时运行数据、工艺参数、以及每一片测试晶圆的缺陷分析数据,全部接入到我们位于香江总部的‘伏羲’超算集群中!”
“从今天开始,”林轩的语气带着一种不容置疑的自信,“‘伏羲’将成为你们最强大的工艺优化伙伴!”
“它会7x24小时”不间断地学习和分析你们所有的生产数据,利用其强大的算力和机器学习算法,去寻找那些隐藏在海量参数背后的、影响良率的关键因子和最优工艺窗口!”
“我不管它是通过调整等离子体辉光放电的脉冲频率,还是优化蚀刻气体的动态流量控制,抑或是改变晶圆清洗液的化学配比……”
“‘伏羲’的目标只有一个——在现有设备条件下,帮助你们找到突破良率瓶颈的黄金参数组合!”
“我授权你们,”林轩的目光扫过屏幕前所有庐州的工程师,“对于‘伏羲’AI平台给出的、经过我们总部技术专家初步评估认为具有可行性的工艺优化建议,你们可以大胆地去尝试!”
“去验证!即使失败了,成本也由总部承担!但每一次尝试,都将为AI提供更宝贵的学习数据,让它变得更聪明,更精准!”
林轩的这番话,如同在黑暗中点亮了一盏明灯,瞬间驱散了庐州团队心中的阴霾!
用AI来优化和控制世界上最复杂的半导体制造工艺?!
这在当时,对于绝大多数从业者来说,简直是天方谭!
但启明芯,却拥有这个世界上独一无二的、将这个幻想变为现实的“秘密武器”——那就是林轩超越时代的战略远见和“伏羲”AI平台、以及其背后强大的“盘古\/女娲”EdA仿真能力的逆天算力!
接下来的日子,庐州“神农1号”晶圆厂,变成了一个巨大的人工智能“炼丹炉”!
“伏羲”AI平台开始高速运转。
它贪婪地吞噬着来自产线的海量数据,构建起越来越精确的数字孪生模型。
它不断地进行着各种虚拟实验,模拟调整不同的工艺参数组合,并预测其对良率和芯片性能的影响。
然后,一份份由AI生成的、看起来有些反直觉甚至匪夷所思的工艺优化建议,被源源不断地发送到庐州产线工程师们的手中。
最初,工程师们对这些来自机器的建议,也抱有怀疑。
但当他们按照AI的建议,小心翼翼地调整了某台刻蚀机的气体流量和射频功率后,下一批测试晶圆的深孔均匀性,竟然真的有了肉眼可见的改善!
当他们按照AI的提示,在某个清洗步骤中增加了一种特殊的化学添加剂后,之前一直困扰他们的聚合物残留问题,也得到了显着的缓解!
一次又一次的惊喜,让工程师们对“伏羲”AI平台的信任度与日俱增!
他们开始主动地与AI对话,将产线上遇到的各种新问题和实验数据,都输入到平台中,请求AI给出解决方案。
坂本健一更是将他数十年积累的工艺经验和对半导体物理的深刻理解,毫无保留地“喂”给了“伏羲”AI,帮助它更快地学习和进化。
他甚至开始将AI的优化建议,与他自己的直觉判断进行印证和博弈,从而产生出更具创造性的新思路。
这,是一场人与机器、经验与算法、传统工艺与未来智能之间,前所未有的深度融合与协同进化!
庐州的不眠之夜,依旧在继续。
超净厂房里的灯光,依旧彻夜通明。
工程师们的身影,依旧疲惫但却充满了希望。
因为他们知道,自己不再是孤军奋战。
在他们的身后,站着一个拥有“超级智慧”的、永不疲倦的强大“伙伴”!
而那座看似不可逾越的“良率大山”,在“愚公”的坚韧意志和“智叟”的AI赋能之下,正被一点一点地,缓慢但却坚定地,撼动着!